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為什么說掩膜版是光刻工藝中的消耗品?
【2021-09-18】

  掩膜版是轉(zhuǎn)移圖形的工具,光刻掩膜版的作用就是為了將電路信息圖形轉(zhuǎn)移到硅片或者玻璃襯底上,每個(gè)掩膜版所能夠繪制的電路信息圖形是有限的,而芯片制作需要很多不同的電路信息圖形,所以在芯片制作過程中需要很多塊掩膜版,每個(gè)掩膜版轉(zhuǎn)移完版上的圖形后,就不會(huì)再用到了,而且如果工藝驗(yàn)證過程中,有細(xì)微的差異,可能還需要光刻的版圖進(jìn)行調(diào)整,從而達(dá)到參數(shù)補(bǔ)償?shù)膯栴},那么原本制作的光刻半也不會(huì)再使用了,所以說光刻掩膜版是光刻工藝中的消耗品。

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