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光刻板和光刻掩膜版沒有區(qū)別。
光刻掩膜版是光刻工藝中重要的材料之一,業(yè)內(nèi)又稱光罩版,掩膜版,光刻版。在傳播中又形成了光刻板這個名稱,實(shí)際沒有區(qū)別。
無掩膜版光刻的問題
光刻掩膜版的壽命
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